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工業(yè)磷酸廠家?guī)懔私怆娮蛹?jí)磷酸檢測(cè)小知識(shí)
工業(yè)磷酸廠家帶你了解電子級(jí)磷酸檢測(cè)小知識(shí),高隆磷化工專業(yè)生產(chǎn)五氧化二磷和多聚磷酸等產(chǎn)品，電子級(jí)磷酸屬于電子化學(xué)品檢測(cè)種類之一。在電子工業(yè)中，尤其是超大規(guī)模集成電路、大屏幕液晶顯示屏等微電子工業(yè)領(lǐng)域，電子用磷酸可以用于清洗和蝕刻等工藝的加工?？梢哉f說磷酸的純度、質(zhì)量、指標(biāo)等都直接關(guān)系到電子生產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)品成品率、電性能、可靠性，或者是屏幕最后的質(zhì)量表現(xiàn)。信息來源：www.luliangnews.com | 發(fā)布時(shí)間：2020年09月02日
一、電子級(jí)磷酸用途分析
1、用于基片涂膠前的清洗
2、用于光刻過程中的蝕刻及后去膠；
3、用于硅片本身制作過程中的清洗及絕緣膜蝕刻、半導(dǎo)體膜蝕刻、 導(dǎo)體膜蝕刻、 有機(jī)材料蝕刻等
1、用高純磷制備電子級(jí)磷酸的工藝
2、用高純?nèi)然字苽潆娮蛹?jí)磷酸的工藝
3、用三氯氧磷制備電子級(jí)磷酸的工藝
三、電子級(jí)磷酸提純工藝
化學(xué)沉淀法
有機(jī)溶劑萃取法
溶劑沉淀法
結(jié)晶法（冷凍結(jié)晶法、熔融結(jié)晶法）
濃縮凈化法
離子交換法
電滲析法
四、電子級(jí)磷酸質(zhì)量等級(jí)
E1為普通電子級(jí)磷酸
E2為高純電子級(jí)磷酸
五、電子級(jí)磷酸檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 28159-2011 電子級(jí)磷酸
六、電子級(jí)磷酸檢測(cè)項(xiàng)目
1、磷酸質(zhì)量分?jǐn)?shù)檢測(cè)
2、易氧化物質(zhì)量分?jǐn)?shù)檢測(cè)
3、陰離子檢測(cè)項(xiàng)目：硝酸鹽含量、硫酸鹽含量、氯化物含量
4、金屬離子元素檢測(cè)項(xiàng)目：鋁、硼、銻、砷、鋇、鎘、鈣、鈷、銅、鎵、金、鐵、鉛、鋰、鎂、錳、家、鎳、銀、鈉、錫、鍶、鈦、鋅
5、顆粒的測(cè)定
